機器人可安裝互鎖裝置(Interlocking Device)以維護人員安全。互鎖裝置係指機械式、電子式、或其他可防止機器人在安全防護系統未啟動時會作用的裝置。所以當安全系統未啟動時，此互鎖裝置會利用一些方法，如將其斷電、或使機器人之致動器停止等，使機器人無法動作。機器人互鎖迴路之運作邏輯如下圖所示。
在一些工廠中，有些機器人則在工作區域外裝置安全門或其他裝置，使機器人與之產生互鎖迴路之關係，如此人員一但在闖入機器人之工作區域時，安全裝置被開啟，則機器人會自動停止運作。
在使用互鎖裝置時，宜確時注意到工作人員不可隨意將裝置關掉，除了遇有維修、檢驗、或測試等特殊情況，且在具專人在工作區域外之監控下，方可關掉互鎖裝置進行之。
在歐洲標準EN 1088「機器安全 - 互鎖裝置與安全措施 - 設計與選擇之原則」中，將互鎖裝置畫分為三個層次，Level A與Level B均為控制互鎖，但Level C則為電源互鎖，如下圖互鎖裝置的三個層次所示。愈是低階之層次，其界面亦少，安全防護之效果亦愈直接，可靠度愈佳，因此Level C電源互鎖層次之安全防護效果是最直接的。
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