任何機件之故障可能會引起安全事故之發生。機器人之電源、電子電力系統失效，控制系統失效，油、液壓等機械系統失效，或是機器人周邊設備發生故障等都屬於機件故障的範疇。
因此，在選購或製造機器人時，即應考量各個原件之可靠度與維修度，以降低使用時發生危害之可能；平時亦宜對相關機器人機件進行定期之保養、檢查與維護，以減少機件故障之發生率。
因此，在選購或製造機器人時，即應考量各個原件之可靠度與維修度，以降低使用時發生危害之可能；平時亦宜對相關機器人機件進行定期之保養、檢查與維護，以減少機件故障之發生率。
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